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自1902 年用焰熔法得到第一颗人工宝石至今,各种人工生长蓝宝石晶体的工艺不断发展,诞生了焰熔法、提拉法、泡生法等十余种晶体生长方法。这些方法各有利弊,应用领域各不相同。目前工业化应用的主要工艺有热交换法、泡生法、提拉法、导模法以及 VHGF 法等。
厂家普遍使用的供GaN生长的蓝宝石基板.主要因为早期蓝宝石晶体沿C轴生长的工艺成熟、成本相对较低、物化性能稳定,在C面进行磊晶的技术成熟稳定。
原料制备——高纯氢氧化铝——粉体研磨——锻压成型——相变烧结——原料检测——包装出库——装料——真空加热——原料融化——晶体生长——原位退火——冷却——出锭——晶体加工——晶体检测——X射线定向——切割掏棒——研磨——抛光——检测——入库
将高纯氢氧化铝粉料经粉体研磨后投入链式煅烧炉中锻压成型,而后通过电加热升高炉体温度至1800℃左右,此处理单元只送风不回风以保证微正压,煅烧成为高纯氧化铝块料,再通过原料检测后投入下一工序。